《表4 舱室噪声值对比表：干式真空泵在石化装置中的选型特点及设计探讨》

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《干式真空泵在石化装置中的选型特点及设计探讨》

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如果处理具有腐蚀性和颗粒的气体介质时，为延长泵使用寿命，需要在螺杆表面和泵腔进行涂层设计，目前主要有以下涂层，分别为PTFE涂层、PFA涂层、PEEK涂层、NIFA涂层（在Ni涂层的基础上再涂一层PFA）以及Hastelloy C涂层，针对介质的特性可选择不同的涂层技术，表4列出了各涂层特点[8]。