《表2 干式爪型真空泵与罗茨鼓风机检修次数对比》

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《干式爪型真空泵在氯化氢气体输送系统中的应用》

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自2018年11月投用至今，除计划性拆检腔体进行清理维护外未进行过其他故障检修，运行稳定。将运行18个月的2台干式爪泵和1台同工况在用罗茨鼓风机检修次数进行了对比（见表2），可见干式爪泵的故障次数降。