《表1 不同方向加速度在压阻微梁上产生的最大应力》

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《SOI压阻式面内加速度传感器的交叉灵敏度》

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经过不同方向的加速度作用的仿真后，将压阻微梁的应力仿真结果列于表1中，由结果可知，在外界加速度下，由其他方向（x轴和z轴方向）的加速度引起的压阻微梁应力远远小于工作轴加速度引起的应力，并且由于采用半开环式的惠斯通电桥作为信号输出电路，当非工作方向加速度施加于传感器时，由于同一桥臂的对应电阻受力情况相同，因此不会使惠斯通电桥产生电压差，这样可以有效抵消其他轴加速度引起的信号输出。