《表2 工作方向加速度传感器的输出电压》

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《SOI压阻式面内加速度传感器的交叉灵敏度》

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加速度传感器实验在室温20℃下进行，利用精密源表对加速度传感器提供3 V直流电压，测量实验开始之前需要对加速度传感器进行调零，即在静止状态下测量传感器的输出电压，将此时的输出电压作为加速度传感器的零位，调零完成后再测量加速度变化后传感器的输出电压，其实验结果如表2所示。