《表1 光强传感器输出电压》

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《接触式光刻机汞灯电源功率大幅波动故障处理》

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汞灯功率265 W时，光强传感器的输出电压见表1，可见曝光快门关闭以后，光强传感器仍有输出。光强输入弱时汞灯电源光强显示值为0。光强显示值公式：y=f（x）-b，x>c；y=0，x≤c，其中，f（x）是以x为变量的函数，x为光强传感器输出（mV），y为光强显示值（m W/cm2）。