《表3 计算Eδ的值：采用五棱镜扫描法检测大口径平面镜的面形》

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《采用五棱镜扫描法检测大口径平面镜的面形》

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表2和表3对Eδ的值进行了计算。注意，在误差分析时，需要将式（15）中的所有负号变为正号；另外，在表3中，将极限误差值看作常数。最后得到由倾斜误差造成的表面倾斜角差值δ的误差Eδ等于11.1 nrad rms。