《表1 平面K、L、M的面形及残差 (λ=632.8nm)》

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《装夹自重变形对大口径绝对面形检测的影响》

其中，R=5×108 mm，模拟的三个平面的面形波面图如8，其面形的PV值和RMS值如表1.

图表编号	XD0023372000 严禁用于非法目的
绘制时间	2018.02.01
作者	赵思伟、田爱玲、王大森、刘丙才、朱学亮、刘卫国
绘制单位	西安工业大学光电工程学院陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室、西安工业大学光电工程学院陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室、中国兵器科学院宁波分院、西安工业大学光电工程学院陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室、西安工业大学光电工程学院陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室、西安工业大学光电工程学院陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室
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