《表2 加入变形后三K、L、M的面形及残差 (λ=632.8nm) Table 2 Surface and deviation of plane K, Land M after deformation
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利用结合Zernike拟合三平面互检算法获得三平面的波面以及PV值和RMS值，如图9、表2.
| 图表编号 | XD0023372100 严禁用于非法目的 |
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| 绘制时间 | 2018.02.01 |
| 作者 | 赵思伟、田爱玲、王大森、刘丙才、朱学亮、刘卫国 |
| 绘制单位 | 西安工业大学光电工程学院陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室、西安工业大学光电工程学院陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室、中国兵器科学院宁波分院、西安工业大学光电工程学院陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室、西安工业大学光电工程学院陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室、西安工业大学光电工程学院陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室 |
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