《表1 UV激光钻孔加工参数》

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《HDI开铜窗的一种激光加工方法》


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测试材料表层铜箔厚度为12μm,第二层材料为胶,第三层材料为FR-4玻璃纤维布,第四层为底铜。实验设备为正业科技自主研发的UV激光钻孔机。根据图4所示的渐变螺旋线路径进行加工,加工路径顺序为先加工内圈的渐变螺旋线,轨迹需由圆心向外加工,最后加工外圈的圆来保证开窗孔的真圆度。加工参数设置(见表1)。