《表1 仿真模型参数：激光微织构加工机床伺服传动控制系统研究》

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《激光微织构加工机床伺服传动控制系统研究》

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实验平台为激光微织构加工系统，其中伺服驱动器和伺服电机采用Panasonic公司的MINAS A6系列的AC伺服。该系统运动机床的进给系统为滚珠丝杠传动，型号为DKF4010-5；光栅尺选用Renishaw绝对式光栅，建模所需的参数设定如表1所示。