《表1 飞秒激光加工系统的主要参数》

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《飞秒激光诱导钛表面可控微纳结构用于水下气泡操纵》

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飞秒激光振镜扫描加工系统的主要性能参数和装置分别如表1和图1所示.加工系统的主体部分主要由飞秒激光放大器、扫描振镜以及光路传导系统组成.本实验所用的飞秒激光器为美国Coherent公司的Legend Elite激光器，中心波长800 nm，脉宽104 fs，重复频率1 kHz.光束从激光器出口，利用光闸控制光束通断，通过半波片和格兰泰勒棱镜协同调控激光功率，最后经过光束提升架进入扫描振镜聚焦，加工样品.由于飞秒激光的脉宽非常短，加工过程中金属材料表面热效应低，因而该加工系统在表面微纳结构的精确调控方面具有很高的精度，这对于钛金属表面微纳结构的可逆润湿特性研究具有重要的意义.