《表1 甲醛标准溶液配方：飞秒激光系统图像调焦装置以及方法》

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《飞秒激光系统图像调焦装置以及方法》

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数次加工结果表明，上层圆柱高度h2与设计高度相同，因此只需分析下层高度即可．表1为多次加工记录的下层圆柱高度数据h1，为了更直观表示7次加工中h1实际高度与设计高度之间的偏差，根据表1绘制了图7所示的加工精度曲线图．测试结果中，在焦面以上的结构之所以能够留存下来并观测到的原因是，加工所用能量较大且严格控制显影时间，使得焦面以上结构在一定误差范围内仍可留存．由图可见，应用图像调焦方法重复加工的圆柱结构，加工误差小于1.5μm，对比之前计算的成像物镜焦深值，加工精度在1/2焦深以内，完全满足飞秒激光系统调焦要求．