《表2 飞秒激光器主要性能参数》

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《微细流路模压成形用碳化钨模具飞秒激光加工工艺研究》

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对于玻璃基片而言，加工过程中温度通常保持在500～800℃，为了满足加工精度和模具的使用寿命，常选用具有高硬度、高强度、耐磨性好、耐高温的超硬材料。故本文中选用的是碳化钨（WC）作为微细流路的模具材料，其具体的材料属性如表1所示。所采用的飞秒激光实验装置如图1所示，其主要性能参数如表2所示。