《表2 多光束实验结果:飞秒激光高效并行微孔加工技术研究》

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《飞秒激光高效并行微孔加工技术研究》


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为了验证产生的多光束能量一致性是否良好,在Labview界面中,将多光束摆成了“H”“B”“U”“T”图案,生成了全息图,加载到SLM后,用CCD相机观察并测量其光强,最后用多光束对材料进行加工(加工参数:P=20mW,加工时间t=0.01s)。结果如表2所示。