《表4 多光束孔径大小:飞秒激光高效并行微孔加工技术研究》

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《飞秒激光高效并行微孔加工技术研究》


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上述样品加工和处理完毕后,用光学显微镜测量其孔直径,各个图案孔径大小如表4所示。