《表1 单晶硅靶材的物理特性参数》

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《毫秒激光辐照单晶硅产生燃烧波仿真及实验》

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注:下标s为固体；下标l为液体．

当作用到单晶硅的激光能量密度较高时，单晶硅靶材会产生等离子体现象，燃烧波模型结构如图1所示（单位:mm）．模型中激光能量分布为高斯分布，激光波长为1 064 nm，脉冲宽度为1.0～3.0 ms（步长为0.5 ms），光斑半径为1.0 mm，激光重复频率为10 Hz．空气层厚度为6.0 mm，宽度为12.7 mm．单晶硅靶材的物理特性参数[11]如表1所示．