《表2 靶材背板组件材料的物理性能》

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《Al中间层和Ni(V)过渡层对Co/Al/Cu三明治结构靶材背板组件焊接残余应力的影响》

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根据假设整个过程中Co靶材和Cu背板发生弹性变形，Al中间层和Ni（V）过渡层发生弹塑性变形，因此在有限元模型中设置Co靶材和Cu背板为弹性材料模型，Al中间层和Ni（V）过渡层为弹塑性材料模型，结合实际产品确定靶材背板组件的尺寸和材料模型单元种类如表1所示，靶材背板组件材料的物理性能参数如表2所示。靶材背板组件的几何模型如图1所示，采用自由网格划分的方法生成有限元模型，有限元模型共包括32163个节点，15998个单元，如图2所示。