《表1 预应力模态求解结果》

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《光纤法珀腔声传感器理论与仿真分析研究》

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如图4所示，为求解的频率为8 162.6 Hz，13 011 Hz，17 451 Hz，18 763 Hz对应的振动模态振形图。从图中可以看出，一阶振形是振膜整体起伏，振膜中心处振幅最大。而所有的高阶模态，振膜内都存在不同相位振动区域，出现这种情况时，传感器将不会工作在线性区，并出现严重的谐波失真。