《表1 图像像素与微米电机移动距离最小二乘拟合关系式》

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《基于图像处理和最小二乘法的原子力显微镜光路自动调整方法》

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最小二乘拟合的微悬臂移动距离与像素变化的关系式由表1所示。ax、bx代表X轴横向线性拟合参数a、b，ay、by代表Y轴纵向线性拟合参数a、b。相同条件连续拟合5次，标准差由ax至by分别为:0.00208、0.00043、0.00211、0.00345，由此可以看出利用最小二乘法拟合悬臂移动距离与像素变化得到的结果比较稳定。