《表3 Ti AlN涂层结合力的正交分析结果》

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《多弧离子镀的工艺参数对TiAlN膜层性能的影响》

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表3表示不同工艺参数下TiAlN涂层结合力的正交分析结果，表中极差分别表示各工艺参数对TiAlN涂层结合力影响的重要性。分析得到，影响TiAlN涂层结合力的因素按重要性排序依次为脉冲偏压、占空比、弧电流、N2流量和直流偏压。以下各图所对应的为结合力的平均值。