《表4 正交实验表：基于田口试验设计的TiAlN涂层膜基结合力控制参数优化》

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《基于田口试验设计的TiAlN涂层膜基结合力控制参数优化》

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赋予评价指标相应的权重，综合计算各因子的重要度，选择重要度>3的工艺参数进行正交试验设计，包括氩氮流量比、基本偏压、工作气压、脉冲电流4个可控因子，每个因子设置4个水平。真空室内的基体温度、沉积速率人为控制困难，精确度低，以此作为噪声因子，控制因子设置水平见表3。应用minitab软件进行L16（44）型正交表设计见表4。