《表2 Ti1-xAlx N涂层的EPMA成分分析》

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《Al含量对Ti_(1-x)Al_xN涂层组织结构、力学性能和铣削性能的影响》

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对Ti0.5Al0.5N和Ti0.33Al0.67N涂层的表面进行EPMA成分分析，结果见表2。可以看出，Ti0.5Al0.5N涂层成分与靶材成分的偏差很小，而Ti0.33Al0.67N涂层与靶材成分之间存在一定偏差。