《表1 FBAR各层薄膜材料以及尺寸》
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为了对FBAR的关键性因素讨论，本论文设计的FBAR各层薄膜选用材料和每一薄膜层的尺寸设计如表1所示，其中工作的有效面是边长为100微米的正方形。
| 图表编号 | XD0073053200 严禁用于非法目的 |
|---|---|
| 绘制时间 | 2019.05.01 |
| 作者 | 王瑞、陈鹏光、任家泰、白玉慧、陈剑鸣 |
| 绘制单位 | 昆明理工大学理学院、昆明理工大学理学院、昆明理工大学理学院、昆明理工大学理学院、昆明理工大学理学院 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
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