《表3 Li Nb O3薄膜的FBAR器件性能》

《表3 Li Nb O3薄膜的FBAR器件性能》   提示:宽带有限、当前游客访问压缩模式
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《基于铌酸锂薄膜的5G谐振器和滤波器》


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2018年,Yang等[57]实现了一种基于Li Nb O3薄膜的反对称兰姆波谐振器,2019年时也被Plessky等[7]称为横向激发体声波谐振器(XBAR)。这一技术的出现有望解决FBAR所面临的困境。