《表4 观测器IAMi与ISDMi比较》

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《气动二维超精密伺服系统输出反馈滑模控制》

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图10、11为两种观测器观测参考信号L2（t）时，各阶次的观测效果图。为使各阶观测效果对比更加明显，对观测估计状态量与实际状态量进行数据分析，采用如表4的数据表形式进行对比。