《表2 视场不同区域的光密度标定值》

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《透射式透明薄膜厚度的在线测量》

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注:μgi为入射灰度均值；Dm为测量光密度；De光密度误差；Ds为标定光密度．

将入射灰度均值和出射灰度值代入式（9），便可计算出12个光密度值．从计算的光密度值看，所有根据入射、出射灰度直接计算的光密度均比标定板上的“真值”小，即光密度测量结果与标定光密度的差值De均为负数．这是由于标定板上参考光密度值的测试环境与系统光密度测试环境存在差异所导致的．光密度值之间的偏移会转换到薄膜厚度测量结果中，即计算的厚度低于实际厚度．因此利用光密度具有相同偏移趋势的特点，对测量光密度进行统一校正，将其与标定光密度匹配，减少厚度的测量误差．首先，根据表2中测量光密度Dm与光密度误差De两列数据拟合线性回归曲线（图6）．