《表1 光密度测量与系统各关键参数之间的关系》

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《透射式透明薄膜厚度的在线测量》

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单一成像功能的CCD应用侧重于芯片分辨率、帧率、动态范围和光能灵敏度等参数的考量．在成像功能基础上实现较高精度的光密度测量时，要求CCD具有高线性度、低空间噪声和时间噪声等．本文系统采用信噪比较高的1/3英寸12位黑白面阵CCD作为辐射能接收器件，同时配套焦距为25 mm的FA镜头，以及有效发光面积为120 mm×100 mm的LED面光源作为背光照明．由于系统是通过相机接收的光能量值计算光密度，再转换为厚度，因此包括相机在内的所有与光能量有关的照明、镜头等参数都需要合理设定，以提高测量的精度与分辨率．各硬件参数变化对测量结果的影响见表1.