《表3 不同聚焦距离下的聚焦电流》

  提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式

本系列图表出处文件名：随高清版一同展现

《单线横涡式电子束聚焦线圈聚点束斑试验研究》

1. 获取 高清版本忘记账户？点击这里登录

1. 下载图表忘记账户？点击这里登录

电子束的磁聚焦系统特征可以以光束通过凸镜之后聚焦原理来理解，也就是电子枪的光学特性。该试验电子枪阴极使用面积为1 mm×1 mm、厚度为0.1 mm的V型钨质灯丝。在电子枪光学研究中电子束静电聚焦得出的电子束束腰为实像，通过磁聚焦获得的束斑为虚像。为了找到指定位置上的最小束斑直径，测量了该聚焦距离处聚焦电流下的铜膜熔孔最大直径dmax和最小直径dmin，如图4所示。从图4可以看出，电子束打出来的熔孔并非是正圆，而且从熔孔边缘看出铜膜熔化扩大的痕迹，所以真正的束斑直径肯定是小于孔径的，因此试验只反应聚焦电流下的束斑的最大可能性直径。只因铜膜厚度小，作用时间短，因此一定程度上反映了熔孔直径大小。观察中发现束斑不圆的原因在于，电子束光学实像是正方形，因此通过磁透镜后的虚像也不是正圆。在不同聚焦距离同一方向上的熔孔最大直径和最小直径出现的位置不一样，从而该试验直接证明了电子束通过磁透镜后在漂移空间中螺旋前进的。观察还可以发现，同一聚焦电流下偏转4处0.5°的4孔的最大直径和最小直径出现的位置也不一样。原因在于该单线横涡式聚焦线圈通过偏转之后会产生像散，从试验推导出偏转角度越大像散也越大。为了数量上研究图4将其试验聚焦距离下的聚焦电流束斑直径和圆度误差的平均值通过式1、式2计算出来罗列在表中，如表3所示。