《表2 不同聚焦距离下的聚焦电流》

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《单线横涡式电子束聚焦线圈聚点束斑试验研究》

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图3是同一偏转角度0.5°，同一束流电流8 mA，同一下束时间0.4 s下的不同聚焦距离下的聚焦电流。从图3可以看出，随着聚焦距离的变小4个点之间的距离有等比例缩小的趋势，试验过程中铜膜非电子束击打位置保持完整没有熔塌现象。在试验过程中首先用肉眼观察锁定聚焦电流大概范围再进行锁定线圈最佳聚焦电流的。其肉眼观察得到初始聚焦电流IF0和铜膜截束得到的最佳聚焦值IF对比如表2所示。