《表1 (222) 取向的LZ晶面间距随原料比的变化》

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《激光增强CVD法制备柱状晶结构锆酸镧涂层及其性能研究》

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Tpre=800℃、Pl=96 W/cm2和Ptot=950 Pa条件下，不同前驱体配比制得样品的XRD测试结果如图4所示。当R1在1.0至3.0范围内时都能得到纯烧绿石相的LZ涂层。其中，当R1=1.5时，XRD的图谱与La2Zr2O7的PDF卡片（#17-0450）对应较好。其他La/Zr比样品的XRD图谱存在一定（θ）的整体偏移，而且随着R1的变化，偏移的方向和大小都不同:当R1≥1.5时，XRD的图谱向小角度方向整体偏移，偏移量随着R1的增大而增大；当R1≤1.0时，XRD的图谱往大角度方向整体偏移，偏移量随着R1的减小而增大。另外，当R1=5.0和R1=0.5时，XRD图谱中的晶体峰出现宽化，说明在这两个条件下制备的样品出现了相分离。分析XRD图谱可知:当R1=5.0时存在第二相氧化镧；当R1=0.5时存在第二相氧化锆。根据布拉格公式可计算得到不同原料比条件下（222）取向的LZ的晶面间距dhkl。如表1所示，dhkl随着θ的减小而增加。由图5可知，不同的R1对LZ微观形貌几乎没有影响。