《表2 多晶硅刻蚀分片方案》

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《高频双极晶体管工艺特性研究》

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笔者对目前常用的两种多晶硅刻蚀工艺进行了试制和参数比较。不同的多晶硅刻蚀工艺对于器件最大的影响即为放大系数的稳定性。笔者采用如表2所示的分片表格，对多晶硅刻蚀工艺进行了分片并试制了器件，从而对器件的放大系数进行对比。