《表1 被测样片固定压痕深度2μm时的力学性能和残余应力》

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《基于纳米压痕技术的兆声辅助电铸微器件残余应力研究》

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分别使用Suresh模型和Lee模型对被测样片进行了残余应力计算。由表1的测量结果可知，样片中存在残余压应力。基于接触应力不变性的Suresh模型，固定压痕深度时，残余压应力为：