《表1 2种表面成膜工艺及其污染物产生环节》

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《光伏电池片成膜工艺技改与节能减排研究》

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注：工段过程不同分栏比较，工段过程相同则在同一栏叙述

表面成膜工序PECVD与APCVD在工艺过程、生产条件、使用的原辅材料及其污染物产生等方面，既有相同之处，又有原则性的区别。2种工艺方法及其污染物产生环节[2]见表1。