《表2 整机框架模态频率结果》

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《扇出型芯片键合设备开发思路及整机框架结构设计与仿真》

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需对整机框架结构的固有振动特性进行仿真分析，得出每阶振型所对应模态频率，并对相应结构做结构优化设计。实际设计中，对整机框架进行模态分析时，在0～1 000 Hz范围内，采用MASS模态提取方法，运用集中质量矩阵方法进行计算。频率结果如表2所示，提取其前6阶模态频率，整机框架组件的模态仿真模型振型，如图6所示。