《表2 3种镀铜体系的分散能力比较》

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《两种无氰碱铜工艺与氰化镀铜的性能对比》

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由表2可知，分散能力最好的是氰化镀铜，其次是无氰光亮碱铜，最差的是一般无氰碱铜。观察第8个点的厚度可以发现，在相同的0.5 A×5 min条件下，二次测厚平均值的大小排序为：无氰光亮碱铜（0.79μm）>氰化镀铜（0.77μm）>一般无氰碱铜（0.50μm）。这证明无氰光亮碱铜与氰化镀铜一样，在低的电流密度下也具有较高的沉积速率。这一点将在沉积速率的测试中得到印证。