《表1 4种波形条件下采用不同镀铜液时的镀速》

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《整流器输出波形及镀铜液种类对薄膜电路镀铜层性能的影响》

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由表1可知:在电流密度及整流器输出波形均相同的条件下，碱性镀铜液的镀速明显优于酸性镀铜液。两种镀液体系在生产时有不同的温度范围，碱性镀铜液的最优生产温度为35°C，高于酸性镀铜液的最优生产温度（25°C）。较高的生产温度会在一定程度上提高镀液活性，加强传质作用，减小浓差极化带来的影响。另外，在相同的镀铜体系中，不同的整流器输出波形条件下镀速的大小顺序均为:高低自由波>单相全波整流>直流>单向脉冲。单向脉冲波形下镀速最低，主要是由于在整个沉积过程中会周期性出现电流关断的间歇，使得实际电镀时间少于其他输出波形。直流波形在电镀过程中易受到浓差极化的影响，造成阴极电流效率降低，影响了镀速。高低自由波电镀过程中不存在间断过程且平均电流最大，因此镀速最高。采用单相全波整流波形时，电镀过程中也不存在间断，且电流高低变化缓慢，有效地减小了浓差极化的影响，提高了电流效率，因此具有较高的镀速。