《表8 2#氧化铟锡靶材样品中杂质元素的比对结果》

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《微波消解-电感耦合等离子体质谱法测定氧化铟锡靶材中13种痕量杂质元素》

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选取杂质元素含量较高的2#氧化铟锡靶材样品，按照实验方法对其中铝、硅、钙、铬、铁、铜、镍、锆、镉、铅、铊进行测定，并采用ICP-AES[8]进行了方法比对，具体数据见表8。