《表7 1#氧化铟锡靶材样品中杂质元素的精密度和加标回收试验结果》

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《微波消解-电感耦合等离子体质谱法测定氧化铟锡靶材中13种痕量杂质元素》

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按照实验方法，对1#氧化铟锡靶材样品中的13种杂质元素进行测定，每个样品平行测定7次，同时对各杂质元素进行加标回收试验，结果见表7。由表7可见，各杂质元素测定结果的相对标准偏差（RSD）为0.8%～3.2%，回收率为88%～114%。