《表2 防漏粉试验情况：氧化铟锡靶材可调模具的设计与应用》

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《氧化铟锡靶材可调模具的设计与应用》

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根据本文“难点分析”中的讨论，采用密封结构设计，进行防漏粉。密封结构示意图如图2所示，其中图（a）为无密封的结构设计，图（b）为间隙内设计密封条的结构设计，图（c）为间隙外设计密封压板的结构设计。分别对上述三种结构进行粉体压制试验，试验结果如表2所示。采用图（a）设计，成型前2片时未出现明显漏粉现象，成型坯体完好，但在成型第3片时，出现较大漏粉，导致坯体成型后有较大面积的残缺，可能是由于模具通过螺杆连接，存在一定的间隙，经过压制后，模框被撑大。采用图（b）设计，成型第1片完好，无漏粉，但在成型第2片时，下模卡住，无法正常脱模。对模具进行拆解后，发现密封条存在明显磨损，磨损后的密封条摩擦力增大，位置也有一定偏移，从而导致卡模。采用图（c）设计，成型20片后，仍未见漏粉和卡模现象。