《表2 实验配方和编号：不同Sn含量氧化铟锡靶材的制备及其第二相特征》

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《不同Sn含量氧化铟锡靶材的制备及其第二相特征》

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实验配方见表2。由表2可见，4种配方均按照相同工艺，以去离子水为溶剂，加入1.3%的聚羧酸类分散剂，混匀成为预混液，再将不同比例原料粉按目标固含量60%混入并进行湿式球磨，所制备的浆料过筛后加入2%的蜡系黏结剂，混匀后造粒；所得造粒粉依次经模压（16 MPa）和CIP（285 MPa）成型，所得坯体经室温干燥1 d后，于800℃脱脂20 h，而后在1 550℃氧气氛条件下烧结20 h，得到不同Sn含量的ITO靶材。