《表2 高纯金靶材中杂质含量的GDMS测定结果》

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《辉光放电质谱法测定高纯金靶材中42种杂质元素》

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依照建立的方法条件对高纯金靶材样品中杂质元素进行了测定，42种杂质元素的测定结果见表2。由表2数据可知，对于质量分数大于100μg/kg的杂质元素，测定结果的相对标准偏差（RSD）均小于10%，其余含量元素的测定RSD基本小于46%[14]。由于缺乏高纯金标准物质，对含量相对较高的元素如Ca、Fe、Pd、Ag、Pt、Cr、Cu和Ni元素采用ICP-MS进行方法[4]对照试验，结果如表3。由表3数据可知，实验方法与ICP-MS定量分析方法的测定结果基本保持一致。