《表1 高纯金及金靶材杂质要求标准对比》

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《电子行业用高纯金溅射靶材研究综述》


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2009年我国发布了《金靶材》的国家标准[13],2010年又发布了《高纯金》国家标准[14],二者对比如表1所列。