《表1 SiC制备的实验方案Tab.1 Experimental scheme of the preparation of SiC》

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《碳化硅添加对氮化硅转化为碳化硅晶粒形貌的影响》

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按表1所示方案，准确称量Si3N4与SiC，加入适量无水乙醇进行充分研磨，干燥后置于石墨匣钵中，将石墨匣钵在SiC真空烧结炉中于氩气气氛下以不低于8℃/min的升温速率加热到2 000℃，保温1 h后随炉冷却。