《表1 因素和水平Tab.1 Factors and levels》

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《钴插塞化学机械平坦化的抛光液组分优化》

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正交试验方法具有均匀的分散和可比性，可以优化各种因素和不同层次的复杂实验项目[15，16]。在上述单因素实验结果的基础上，进一步分析了在极低浓度的磨料、氧化剂和螯合剂的情况下，这些主要因素的影响，并找到最佳抛光液配比。实验采用四因素三水平，具体见表1。