《表2 正交试验设计表Tab.2 Orthogonal test table》

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《钴插塞化学机械平坦化的抛光液组分优化》

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为满足钴插塞全局化学机械抛光的要求，选取Co RR、Ti RR和Co/Ti选择比这3个指标作为研究对象，实验方案和结果列于表2。采用距离分析法对正交实验结果进行分析。首先要定义四个参数k1j、k2j、k3j、Rj，其中:k1j、k2j、k3j为每个因子j（j=A、B、C、D）中三个水平的总和的平均值，Rj是影响因子的主导度，是k1j、k2j、k3j在某一因素上的最大值与最小值之差。