《表3 圆形黑点及其周围平均能谱成分Tab.3 Circular black spots and their surrounding average energy spectra》

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图10为距表面0.5 mm处的SEM照片,小圆点及其周围处的能谱平均成分见表3,结合小圆点及其周围元素成分种类,可初步确定小圆点内可能含有少量的氮化硅。为了进一步确定熔覆层是否含有氮化硅而进行XRD实验,由图11可以看出,在23.5?处出现α氮化硅的小波峰,结合能谱仪探测结果发现,只有在小圆点处才含有N元素,因而可以确定圆形小黑点内含有一定量的α氮化硅。