《表1 美国SEMI工艺化学品的国际标准等级》

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《电子化学品制程系统设计》

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数据来源:公开资料整理

随着集成电路技术革新，所需要电子级化学品的标准越高，纯度和洁净度的要求也就越高[5]。为了能够规范世界超净高纯试剂的标准，SEMI（国际半导体设备和材料协会）专门制定、规范超净高纯试剂的国际统一标准-SEMI标准如表1所示。国际上制备SEMI-C1到SEMI-C12级湿电子化学品的技术都已经趋于成熟，目前使用由上品制造生产设备的化学品厂商，已完成SEMI-C12产品的送样。