《表1 两种结构的主要参数》

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《一种带埋层的超低比导通电阻槽型LDMOS》

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本文利用Medici软件，对新结构的特性进行了仿真分析与优化[7]。仿真过程所用的模型包括CONMOB，SRH，AUGER，FLDMOB，IMPACT.I。传统TLDMOS与新结构的参数列于表1。