《表1 计算的弹簧弹性系数》

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《影响MEMS弹簧弹性系数的因素分析》


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由图3可知,S型弹簧自由端X方向最大位移为0.883mm,可根据 ,得到有限元计算值。并由式(1),计算得到理论计算结果,可得到表1。