《表2 膜厚样片量值、重复性测量结果》

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《二氧化硅膜厚标准样片的研制与评价》

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对研制的标称厚度为10nm和1000nm的膜厚标准样片中心区域进行测量，重复测量6次，以6次测量结果的平均值作为该样片的膜厚量值，以标准偏差计算该样片的测量重复性。测量结果如表2所示。